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超純水是在反滲透技術的基礎上，添加了離子交換和終端處理技術，有些還有離子除鹽、超濾和UV光氧化作用設備。盡可能地去處天然水中常見的可溶性無機物、有機物、顆粒物、微生物、可溶性氣體等雜質。

超純水質有比較嚴格的要求，一般根據應用行業的性質，電導率需達12MΩ、15MΩ、17MΩ、18MΩ、18.2MΩ等不同級別的超純水。

超純水設備常用的工藝方法有蒸餾法、反滲透法、離子交換法、過濾法、吸附法、紫外氧化法等，將水的純化過程大致分為4大步，預處理（初級凈化）、反滲透（生產出純水），離子交換（可生產出18.2MΩ.cm超純水）和終端處理（生產出符合要求的超純水）。

超純水的用途：

1、超純材料和超純試劑的生產和清洗；

2、電子、半導體、精密機械行業用超純水；

3、電池產品的生產；

4、半導體產品的生產和清洗；

5、電路板的生產和清洗；

6、其他實驗高科技精細產品的生產等。